Полупроводниковая промышленность требует компоненты, способные работать с точностью, чистотой и долговременной стабильностью в условиях, которые становятся все более требовательными. Полый кольцевой коллектор JINPAT LPT был разработан специально для решения этих задач, предлагая надежную роторную передачу в высокотемпературных и высоковакуумных средах, обычно встречающихся в передовом оборудовании для обработки полупроводников. Благодаря конструкции, в которой приоритет отдается долговечности, контролю загрязнений и электрическим характеристикам, серия LPT поддерживает мировых производителей полупроводников в поддержании стабильного качества продукции.
Корпус кольцевого коллектора из нержавеющей стали, изготовленный из SUS304, обеспечивает высокую устойчивость к термическим нагрузкам и механическим деформациям. Внутри устройства высокотемпературные кольца из сплавов и контакты из композитных драгоценных металлов обеспечивают стабильную передачу сигнала и питания даже при длительной работе при температуре выше 200°C. Внутренняя структура спроектирована для эффективного управления тепловым режимом, минимизируя расширение и поддерживая низкий электрический шум на протяжении всего производственного цикла.
Совместимость с вакуумом — еще одна определяющая особенность серии LPT. Полупроводниковые процессы зависят от строго контролируемых вакуумных сред, где загрязнение должно быть сведено практически к нулю. Чтобы соответствовать этим стандартам, кольцевой коллектор имеет сухую конструкцию без смазки, исключающую возможность выделения масляных паров. Его многоступенчатая система уплотнения и материалы с низким газовыделением поддерживают отличную герметичность. Кроме того, конструкция, не содержащая ионов меди, предотвращает загрязнение металлами — решающее преимущество при производстве пластин и других чувствительных процессах.
Полый кольцевой коллектор LPT уже успешно используется в широком спектре оборудования для производства полупроводников. Его сочетание термической выносливости, механической стабильности и вакуумной чистоты заслужило высокую оценку среди производителей оборудования, ищущих надежные решения для передачи данных с длительным сроком службы. Будь то интеграция в системы обработки пластин, модули инспекции или вакуумные роторные устройства, серия LPT способствует повышению эксплуатационной стабильности и надежности процесса.
Поскольку полупроводниковые технологии продолжают развиваться, требования к оборудованию будут только ужесточаться. JINPAT по-прежнему стремится поддерживать мировых производителей, разрабатывая высокопроизводительные решения для кольцевых коллекторов, основанные на передовых материалах, точном проектировании и строгих стандартах контроля загрязнений. Серия LPT представляет собой эту приверженность, предлагая надежный и долговечный роторный интерфейс, разработанный для удовлетворения растущих потребностей полупроводниковой промышленности во всем мире.